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不只有光刻机，这五大半导体设备巨头掌控了全
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摘要：（全球TMT2021年3月25日讯）在芯片的生产过程中，有一类企业虽然没有直接参与，但却对整个行业技术的发展起着关键性作用，它们就是半导体设备制造商。芯片的制造流程极其复杂，大
（全球TMT2021年3月25日讯）在芯片的生产过程中，有一类企业虽然没有直接参与，但却对整个行业技术的发展起着关键性作用，它们就是半导体设备制造商。芯片的制造流程极其复杂，大致可以分为制备硅片、外延工艺、热氧化、扩散掺杂、离子注入、薄膜制备、光刻、刻蚀、工艺集成等。最广为人知的荷兰阿斯麦(ASML)就是主要生产光刻工艺的核心设备——光刻机。除此之外，刻蚀机、薄膜设备、扩散\离子注入设备、湿法设备、过程检测设备也是必不可少。正是通过这些设备制造商不断研发生产先进的设备，才使得芯片制造的效率效能大幅提高。
目前，全球半导体设备制造商基本由美日荷三国主导，结合美国半导体产业调查公司VLSI Research和Gartner的数据来看，美国应用材料(Applied Materials)、荷兰阿斯麦(ASML)、日本东京电子（TEL）、美国泛林集团(LamResearch)和美国科磊(KLA)多年来一直是该市场的领导者。
多元发展的半导体设备巨头——应用材料
美国应用材料公司(Applied Materials)成立于1967年，总部位于美国硅谷。创始人名叫Michael McNeilly，毕业于冈萨加大学化学系，曾在被誉为“硅晶体管先驱”金·赫尔尼(Jean Hoerni)创办的Union Carbide Electronics公司有机硅部门工作。后来自立门户成立了化学品公司Apogee Chemicals。1967年，由于与合伙人发生冲突McNeilly离开Apogee，并从岳父那借来7500美元作为启动资金成立了应用材料公司，生产半导体制造设备。值得一提的是，1967年美国半导体产业开始迅速发展，许多高管和人才开始从仙童半导体中跳出来创业，硅谷遍布着各种新成立的半导体器件制造商。而这类新兴半导体公司与传统巨头不同，它们没有内部生产能力，应用材料借此机会获得发展，在创立前几年应用材料的收入每年增长速度均超过40%。
在业务上，应用材料涉及薄膜设备、离子注入机、清洗设备、热处理以及前端检测设备。在技术上，应用材料通过收购集成新技术，保持市场领先。例如，1980年收购英国Lintott Engineering进入离子注入市场；2000年收购掩膜板制造供应商Etec Systems切入光罩图案生成解决方案等。2013年应用材料试图收购东京电子，但未获批准。应用材料也早早开始全球化布局。1979年，在日本成立分公司，正式进入亚洲市场。1984年，在北京设立中国客服中心，成为第一家进入中国的外资半导体生产设备供应商。2001年，将中国地区总部设立在上海。2020年，应用材料看好中国经济在疫情后的复苏前景，商讨在上海市临港区建设合资工厂。?应用材料在官网上介绍公司“已从一家小型初创企业转变为世界上最受尊敬的公司之一”，截至2021财年一季度，应用材料营收增长24%至51.6亿美元，创下新纪录，它已经成为全球半导体设备和服务供应巨头。
?风头正盛的明星企业——阿斯麦
阿斯麦(ASML)主要为半导体生产商提供光刻机及相关服务。光刻机，又名掩模对准曝光机，是光刻工艺的核心设备。在芯片的制造流程中光刻工艺可谓是最关键的一步，通过光刻可以确定芯片的关键尺寸，这一步骤也占据芯片整体制造成本的35%。随着英特尔、台积电、三星等企业进入以7nm等先进工艺为主打的量产时代，每个芯片生产商都希望尽可能多的购买光刻机来提升产能，这使得阿斯麦的风头正盛，营收等多项业绩指标连创新高。
而早在近40年前，阿斯麦还只是飞利浦旗下的一家小合资公司，当时光刻机的尖端技术掌握在美国GCA医疗技术公司和日本尼康手中。1984年，飞利浦和芯片机制造商Advanced Semiconductor Materials International（ASMI）成立了一家新公司，用以开发光刻系统。成立之初，阿斯麦的几十个员工就在荷兰埃因霍温飞利浦办公总部附近的一个棚子里工作，也是在如此简陋的条件下，阿斯麦推出了第一个光刻系统PAS 2000，获得市场的初步认可。1995年，阿斯麦在阿姆斯特丹和纽约证券交易所上市，飞利浦回购全部股份，阿斯麦成为一家完全独立的上市公司。
此后阿斯麦在两个“伯乐”的帮助下获得两次飞跃。20世纪初，阿斯麦与台积电合作研发一种被称作“浸润式光刻”的技术方案，并于2004年生产出第一台浸润式光刻机样机，这使其第一次在技术上赶超竞争对手尼康。2007年阿斯麦拿到光刻机市场60%的份额，首次在营收上超过尼康。早在1997年，
文章来源：《设备监理》 网址: http://www.sbjlzz.cn/zonghexinwen/2021/0325/888.html